BliXray bringt Submikron-CT in die Halbleiter- und Galliumproduktion

Die BliXray Technologies GmbH bringt Submikron-CT in die Produktion von Verbindungshalbleitern und Gallium: Die BLCT-NANOLAB erreicht mit ihrer offenen 190-kV-Nanofokus-Röntgenquelle eine JIMA-Auflösung von 0,5 µm. Für Routineprüfungen direkt am Prozess ergänzt die BLCT-DESKLAB das Angebot um Desktop-Mikro-CT mit 3 µm Auflösung und Bildgebung per Knopfdruck.

BliXray bietet beide Anlagen den Werken für Verbindungshalbleiter, Gallium und verwandte Werkstoffe an, die in Europa für zivile und verteidigungsbezogene Lieferketten ausgebaut werden. Die Computertomographie (CT) prüft Wafer, Dies, gehäuste Bauelemente und Materialproben zerstörungsfrei, sodass jedes untersuchte Teil für weitere Prüfungen erhalten bleibt. Die beiden Maschinen decken den Bereich von der Fehleranalyse einzelner Dies bis zur schnellen Stichprobe im Wareneingang ab.

• Nanofokus-Quelle: offene Röntgenröhre bis 190 kV und 50 W, JIMA-Auflösung 0,5 µm (BLCT-NANOLAB).
• Zweite Konfiguration: 225-kV-Mikrofokus-Röhre mit 350 W und einer JIMA-Auflösung von 2 µm für Proben bis 15 kg (BLCT-NANOLAB).
• Desktop-Mikro-CT: geschlossene Röntgenröhre von 20 bis 130 kV mit bis zu 65 W, Auflösung 3 µm, Bildgebung per Knopfdruck (BLCT-DESKLAB).
• Scanmodi: Kreis-, Helix- und Segmentscans sowie Unterdrückung von Jitter-Artefakten.

Submikron-Details im geschlossenen Gehäuse

Die BLCT-NANOLAB kombiniert ihre Nanofokus-Quelle mit einem Flachdetektor mit 4608 × 5890 Pixeln bei einem Pixelabstand von 49,5 µm. In dieser Konfiguration nimmt sie Proben bis ø200 × 225 mm und 5 kg auf, also den Größenbereich von Dies, Substraten und gehäusten Bauteilen. Die Anlage zeigt Mikroporen, Mikrorisse, Einschlüsse und Delaminierung sowie Fehler an Bonddrähten und Die-Attach im geschlossenen Gehäuse. Eine Dichteauflösung von 0,5 % oder besser trennt kleine Dichteunterschiede innerhalb einer Probe. Derselbe Datensatz zeigt Porosität und Einschlüsse in Materialproben und unterstützt so neben der Gehäuseprüfung auch die Charakterisierung von Verbindungshalbleiter- und Galliumwerkstoffen.

„Die BLCT-NANOLAB zeigt dem Prozessingenieur die Pore, den Riss oder den abgehobenen Bonddraht in einem gehäusten Bauteil, ohne es zu öffnen“, sagt Adrian de Riz, Geschäftsführer der BliXray Technologies GmbH. „Das Teil bleibt für jede folgende Prüfung erhalten.“

Ein Gerät, zwei Quellenkonfigurationen

Die BLCT-NANOLAB wechselt zwischen der Nanofokus-Konfiguration und einer 225-kV-Mikrofokus-Konfiguration mit 350 W und einer JIMA-Auflösung von 2 µm. Die Mikrofokus-Konfiguration arbeitet mit einem Flachdetektor mit 3072 × 3072 Pixeln und 427 × 427 mm und nimmt Proben bis 15 kg bei einer Standard-Scangröße von ø300 × 250 mm auf. Eine Anlage deckt damit die Fehleranalyse einzelner Dies ebenso ab wie die Prüfung größerer gehäuster Baugruppen und Träger. Helix- und Segmentscans erweitern die Scanhöhe für hohe Proben, und die Unterdrückung von Jitter-Artefakten hält feine Strukturen bei hoher Vergrößerung scharf. Details finden Sie auf der Seite BLCT-NANOLAB.

Desktop-Mikro-CT auf dem Labortisch

Die BLCT-DESKLAB ist ein Desktop-Mikro-CT-System mit einer Stellfläche von 1357 × 820 × 900 mm und einem Gewicht von 0,9 t. Ihre geschlossene Röntgenröhre arbeitet von 20 bis 130 kV mit bis zu 65 W und erreicht eine Auflösung von 3 µm, bei einer 2D-Auflösung von 5,8 lp/mm. Scans von Proben bis ø210 × 140 mm und 5 kg starten per Knopfdruck, was für Wareneingangsprüfungen, Prozessstichproben und Training geeignet ist. Die Ortsdosisleistung bleibt unter 0,5 µSv/h. Kreis-, Helix-, Segment-, Offset- und Limited-Angle-Scans decken flache Substrate ebenso ab wie kompakte Proben.

„Die BLCT-DESKLAB bringt die CT für Routineprüfungen auf den Labortisch, und die BLCT-NANOLAB übernimmt die Proben, bei denen Submikron-Details zählen“, ergänzt de Riz.

BliXray begleitet beide Anlagen mit Installation, Training und Anwendungsberatung. Weitere Anwendungen finden Sie unter Elektronik und Forschung.

Testscans verfügbar

BliXray bietet auf Anfrage Testscans von Kundenproben über die CT-Prüfdienstleistung an.

Kontakt: Adrian de Riz, Geschäftsführer, BliXray Technologies GmbH, a.deriz@blix-ray.de, +49 511 57092696 – www.blix-ray.de.

Über BliXray: Die BliXray Technologies GmbH in Hannover entwickelt und baut industrielle CT-Anlagen und Strahlenschutzkabinen. Hersteller aus Verteidigung, Luftfahrt und Forschung prüfen mit BliXray-CT sicherheitskritische Bauteile zerstörungsfrei. BliXray-Kabinen und -Container nehmen Röntgenquellen bis 300 kV auf, bei einem Schutzniveau von 0,5 µSv/h. CT für kritische Bauteile. Strahlenschutz für jede Quelle.